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        產品展示

        高純BOE溶液技術要求

        質量標準:

        項目

        指標

        UP-S級

        UP-SS級

        氟化銨(NH4F)含量/% ≤

        36.4±1.0

        40.0±1.0

        氫氟酸含量(HF)含量/% ≤

        4.8±0.5

        4.8±0.5

        色度/Hazen ≤

        5

        5

        氯化物(以Cl計) w/(mg/kg)    ≤

        3

        0.1

        硝酸鹽(以NO3計) w/(mg/kg)    ≤

        3

        0.1

        磷酸鹽(以PO4計)  w/(mg/kg)    ≤

        1

        0.1

        硫酸鹽(以SO4計) w/(mg/kg)    ≤

        3

        0.2

        鋁(Al)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        砷(As)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        硼(B)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鋇(Ba)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鈣(Ca)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鎘(Cd)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鉻(Cr)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        銅(Cu)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鐵(Fe)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鉀(K)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鋰(Li)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鎂(Mg)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        錳(Mn)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鈉(Na)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鎳(Ni)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鉛(Pb)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        銻(Sb)/(μg/kg)  ≤

        1

        0.1

        錫(Sn)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鈦(Ti)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        釩(V)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        鋅(Zn)/(μg/kg) ≤

        1

        0.1

        顆粒

        (≥1.0μm)/(個/mL) ≤

        30

         

        (≥0.5μm)/(個/mL) ≤

        -

        30

        注:氟化銨與氫氟酸含量可按客戶需求的比例進行配置

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